适用范围：

白光干涉仪具有精确的垂直测量范围、精确的载物台，可测量多种样品的粗糙度、台阶高度、薄膜厚度和进行形貌分析。

经济实惠高精确度

全自动光学显微镜

亚纳米分辨率

非接触式形貌测量，高分辨率：

白光干涉测量技术用于生成表面形貌的二维和三维图像

白光干涉和相移扫描(PSI)：

配备四波段LED光源(红色、蓝色、绿色、白色)，它可以轻松运行白色干涉模式和共聚焦模式。无需经验，一键即可轻松测量样品。

变焦成像：

通过在不同聚焦平面上拍摄的一系列图像，最终合成待测样品三维形貌。

自动拼接：

通过高分辨率的全自动载物台可实现大样品的扫描并进行精确自动拼接，获取完整的三维图像。

应用范围：

航空航天、汽车、生物材料、涂层、金属、光学和玻璃、聚合物、半导体、制药、显示器