表面光度仪
非接触式轮廓曲线的设计与优异的用白色光轴向色差领先的技术优势。又称彩色共焦技术,符合ISO和ASTM标准。该技术测量一个物理波长直接关系到一个特定的高度,而无需使用任何复杂的算法。这将确保所有的表面测量结果的准确性。样品的反射率不会产生什么影响,无需进行频繁的校准,而且测量参数的变化也不会产生影响。利用光栅扫描时,表面光度仪可以进行2D和3D测量,可以对于应用提供灵活的测量解决方案
仪器
P3/自动表面粗糙度测量
特点:价格低廉、纳米至微米表面粗糙度测量(ISO 25178)、全自动的触摸屏、紧凑的设计
Jr25光学轮廓仪/便携式功能
特点:重量低于5.5Kg、封装27cm×14cm、XY轴方向25mm×25mm、便携式、非接触式3D测量能力
PS50光学轮廓仪/价格低廉
尺寸紧凑、XY轴方向50mm×50mm、可升级取代光笔和激光分析器、价格实惠、技术领先
ST400光学轮廓仪/Nanovea标准
XY轴方向150mm×150m、多种选择、宽敞的平台区域为独特的样品尺寸所设计、图像模式识别
HS1000光学轮廓仪/高速自动检查
应用
粗糙度、质地 轮廓、尺寸 弯曲、平面度
地形、形状 体积、面积 高度、厚度
特点:
基底 | Jr25 | PS50 | ST400 | ST500 | HS1000 |
XY轴行程 | 25mm | 50mm | 150mm | 400×400mm | 400×600mm |
Z轴 | 30mm | 30mm | 60mm | 50mm | 50mm |
XY轴最大速度 | 20mm/s | 20mm/s | 20mm/s | 200mm/s | 1m/s |
尺寸 | 20×30×17 | 38×33×43 | 69×68×51 | 78×78×76 | 130×120×185 |
旋转阶段 | N/A | N/A | 可选 | 可选 | 可选 |
光学成像变焦 | N/A | N/A | 可选 | 可选 | 可选 |
最大样品重量 | N/A | 8Kg | 12Kg | 8Kg | 8Kg |
定制 | 可选 | N/A | 可选 | 可选 | 可选 |
可选笔
测量范围 | 工作距离mm | 垂直分辨率 | 横向分辨率 |
110μm | 3.35 | 2.5 | 1.1/1.3 |
300μm | 10.8 | 5.7 | 1.7/1.8/3.7 |
1.1mm | 12.0 | 17 | 2.6/4.5 |
3.0mm | 16.2 | 40 | 4.6/7.0 |
10mm | 25.9 | 133 | 11/14 |
20mm | 21.5 | 250 | 11/18 |
线型传感器(高速) | 纳米 | 微米 | 宏 |
测量范围mm | 0.2 | 0.95 | 3.9 |
工作距离mm | 5.3 | 18.5 | 41 |
垂直分辨率 | 20 | 80 | 320 |
线长mm | 0.96 | 1.91 | 4.78 |
横向分辨率 | 1 | 2 | 5 |
间距μm | 5 | 10 | 25 |
点数 | 192 | 192 | 192 |
光圈数值 | 0.7 | 0.55 | 0.33 |
选项:
- 光笔
可选择大的光笔、无需制备样品、高表面角度的能力、可测量任何样品表面
- AFM模块
扫描区域可达110μm、Z范围可达22μm、XY分辨率可达0.15nm、Z分辨率可达0.027nm
- 光学成像
- 显微成像
相关链接
Application Notes
Nanovea Profilometer Website